Васильев В.А, Тарнижевский Б.В., ОАО «ЭНИН»
Легкость создания полупроводниковой структуры СЭ, малый расход сырья, использование дешевых подложек, получение монолитных интегральных модулей в процессе крупномасштабного автоматизированного производства значительно удешевляет процесс изготовления тонкопленочных (ТП) ФЭМ.
Фотоэлектрический модуль из аморфного кремния (α-Si) представляют собой тонкопленочные СЭ сложной структуры, основой технологического процесса производства которых является послойное нанесение различными методами соответствующих соединений тонких пленок.
